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1590
Los montadores de puercos espectáculos neerlandeses Hans Jansen y su hijo Zacharias Jansen son reivindicados por haber inventado un microscopio compuesto por escritores posteriores (Pierre Borel 1620-1671 o 1628-1689 y Willem Boreel 1591-1668) -
1609
Galileo Galilei desarrolla un occhiolino (telescopio casero de 8 aumentos) sentando las bases para el desarrolllo posterior del microscopio compuesto. -
1619
Cornelius Drebbel (1572-1633) presenta en Londres un microscopio compuesto con dos lentes convexas. -
1625
Giovanni Faber de Bamberg (1574-1629) de los Linceanos acuña la palabra microscopio por analogía con telescopio. -
1632
Con él, Leeuwenhoek pudo hacer sus hallazgos microscópicos -
1665
Robert Hooke publica Micrographia, una colección de micrografías biológicas y acuña la palabra célula (cell) para las estructuras que descubre en una corteza de corcho. -
1674
Anton van Leeuwenhoek mejora un microscopio e inventa el microscopio simple para ver especímenes biológicos -
1860
Ernst Abbe descubre la relación de senos de Abbe, un gran avance en el diseño del microscopio, que hasta entonces se basaba en gran medida en el ensayo y error. La compañía de Carl Zeiss explotó este descubrimiento y se convirtió en el fabricante de microscopios dominante. -
1863
Henry Clifton Sorby desarrolla un microscopio metalúrgico para observar la estructura de meteoritos -
1931
Ernst Ruska comienza a construir el primer microscopio electrónico. Se trata de un microscopio electrónico de transmisión (en inglés, Transmission electron microscope, TEM) -
1936
Erwin Wilhelm Müller inventa el microscopio de efecto de campo. -
1938
James Hillier construye otro TEM. -
1951
Erwin Wilhelm Müller inventa el microscopio de iones en campo y es el primero en ver átomos. -
1953
Frits Zernike, profesor de física teórica, recibe el Premio Nobel de Física por su invención del microscopio de contraste de fases. -
1955
George Nomarski, profesor de microscopía, publica las bases teóricas de microscopía de contraste interferencial diferencial. -
1965
Manfred von Ardenne desarrolla el primer microscopio electrónico de barrido (SEM). -
1967
Erwin Wilhelm Müller añade tiempo de vuelo de espectroscopía al microscopio de iones en campo, haciendo que la primera sonda atómica y permitiendo la identificación química de cada átomo individual. -
1981
Gerd Binnig y Heinrich Rohrer desarrollan el microscopio de efecto túnel (Scanning Tunneling Microscope, STM). -
1986
Gerd Binnig, Quate y Gerber desarrollan el microscopio de fuerza atómica (Atomic Force Microscope, AFM) -
1988
Alfred Cerezo, Terence Godfrey y George D. W. Smith aplican un detector sensible a la posición a la sonda atómica, por lo que es capaz de resolver átomos en 3 dimensiones. -
1988
Kingo Itaya inventa el microscopio electroquímico de efecto túnel (Electrochemical scanning tunneling microscope). -
1991
Inventado el microscopio de fuerza sonda Kelvin (Kelvin probe force microscope).